Режекторный оптический фильтр 308 нм

Режекторный оптический фильтр 308 нм

Режекторный оптический фильтр 308 нм, разработанный для систем, которые должны подавлять эксимерную линию 308 нм, обеспечивает подавление оптической плотности > 6 в полосе задерживания, сохраняя при этом пропускание > 90% за пределами режекторной зоны (≈ 250–1200 нм). Твердый диэлектрический блок, напыленный ионным лучом, на плавленом кварце или оптическом стекле, устойчивом к УФ-излучению, обеспечивает превосходную спектральную стабильность, устойчивость к влажности и высокий порог лазерного повреждения (типично ~ 1 Дж/см²). Конструкции оптимизированы для падения, близкого к нормальному (0–5° AOI), с возможностью индивидуальной ширины выреза (±5–±20 нм), плоскостности полосы пропускания и выбора подложки для соответствия ограниченному оптическому бюджету.

Принцип работы

Десятки точно настроенных тонкопленочных слоев создают узкую полосу деструктивной интерференции с центром на длине волны 308 нм, вызывая глубокое затухание на этой длине волны. Длины волн по обе стороны от полосы задерживания подвергаются конструктивным интерференциям, создавая яркие, плоские полосы пропускания с минимальной пульсацией. Поскольку тонкопленочные фильтры спектрально смещаются в зависимости от угла и поляризации, работа при падении, близком к нормальному, сводит к минимуму расстройку; если фиксированный наклон неизбежен, конструкцию можно предварительно компенсировать, чтобы используемая центральная длина волны находилась на уровне 308 нм. Плотное твердое покрытие без пор устойчиво к истиранию и загрязнению, сохраняя глубину надрезов и крутые края под воздействием сильного потока фотонов.

Приложения

Эксимерные (XeCl) модули на длине волны 308 нм: глубокое подавление линий при прохождении каналов диагностики, визуализации или флуоресценции.

Рамановские установки/флуоресцентные установки: удалите узкую линию УФ-насоса, чтобы повысить отношение сигнал/шум, не жертвуя близлежащими выбросами.

Дерматология и биофотоника: защита детекторов и оптики на путях фототерапии или возбуждения с длиной волны 308 нм.

УФ-спектроскопия/микроскопия: однолинейный контроль рассеянного света с широкополосной пропускной способностью для эталонного и измерительного плеч.

Защита датчика: блокируйте вредную энергию 308 нм от входов ПЗС/КМОП/ФЭУ для продления срока службы.